水環(huán)式真空泵在電子晶圓真空吸附中應(yīng)用廣泛，其特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)如下：
工作原理
水環(huán)式真空泵葉輪偏心安裝在泵體內(nèi)，啟動(dòng)前向泵內(nèi)注入一定高度的工作介質(zhì)（常為常溫清水）。當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，水在離心力作用下在泵體壁內(nèi)形成旋轉(zhuǎn)水環(huán)，葉片及兩側(cè)側(cè)板形成密閉腔。在前半轉(zhuǎn)（經(jīng)過吸氣孔）旋轉(zhuǎn)過程中，密封容腔容積逐漸擴(kuò)大，氣體由吸氣孔吸入；在后半轉(zhuǎn)（經(jīng)過排氣孔）旋轉(zhuǎn)過程中，密封容腔容積逐漸縮小，氣體從排氣孔排出，同時(shí)排出一部分水，排出的水氣經(jīng)氣液分離器分離后，水可循環(huán)使用。
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)與維護(hù)：結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工，維護(hù)成本低，周期長，適合長期連續(xù)運(yùn)行。
工藝適配：能提供較大抽氣量，在低真空度（2000～4000Pa）下表現(xiàn)良好，滿足晶圓吸附大流量、低真空度需求。
氣體處理：等溫壓縮過程接近等溫，可避免氣體溫度過高，適合處理含水蒸氣等可凝性氣體，防止氣體在泵內(nèi)凝結(jié)。
抗污染：對(duì)粉塵和顆粒物不敏感，水環(huán)作為密封和冷卻介質(zhì)，減少磨損，延長設(shè)備壽命。
安全性：使用水作為工作介質(zhì)，無油污染風(fēng)險(xiǎn)，等溫壓縮特性使其在處理易燃易爆氣體時(shí)安全性更高。
經(jīng)濟(jì)性：初始投資和運(yùn)行成本較低，使用壽命長，適合大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境。
適應(yīng)性：可通過調(diào)節(jié)供水量、轉(zhuǎn)速等參數(shù)適應(yīng)不同工藝需求，也可與其他真空設(shè)備組合使用。
應(yīng)用場景
在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域，水環(huán)式真空泵可用于燈泡排氣，電容、集成晶體管電路、LCD顯示器的生產(chǎn)，以及太陽能電池板的單晶硅、多晶硅生長爐，切割，真空層壓等生產(chǎn)環(huán)節(jié)。在電子晶圓真空吸附中，它能快速建立真空環(huán)境，穩(wěn)定吸附晶圓，滿足半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度和穩(wěn)定性的要求。