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2019 - 10 - 21
塑料行業(yè)的客戶通常在維護(hù)和購買真空泵和其他真空技術(shù)設(shè)備上花費(fèi)大量資金。 作為高分子化合物的塑料具有多種處理方法。每種方法都有其優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn),并且更適合于特定的應(yīng)用。旋片真空泵在塑料生產(chǎn)過程中的應(yīng)用,希望對大家有所幫助?! 「鶕?jù)塑料的固有特性,制造具有一定形狀和使用價(jià)值的塑料產(chǎn)品是一個(gè)復(fù)雜而艱巨的過程。在塑料制品的工業(yè)生產(chǎn)中,塑料制品的生產(chǎn)系統(tǒng)主要由四個(gè)連續(xù)的塑料成型,加工,裝飾和組裝過程組成?! 〗裉?,我主要想介紹塑料成型的過程?! ≡谶@四個(gè)過程中,塑料成型是塑料加工的關(guān)鍵。有三十多種方法形成,主要是將各種形式的塑料(粉末,粒料,溶液或分散液)制成所需形狀的制品或坯料。成型方法主要取決于塑料的類型(熱塑性或熱固性),起始形式以及產(chǎn)品的形狀和尺寸?! ≡谒芰仙a(chǎn)過程中,熱塑性塑料在擠出機(jī)中熔化,并在螺桿的擠出部分中脫氣。旋片真空泵可以可靠而有效地排出熔體中的氣體和蒸汽,從而獲得最理想的熱塑性產(chǎn)品。具有更高的強(qiáng)度和更好的絕緣性能。在PVC生產(chǎn)過程中,氯乙烯氣體在自動高壓反應(yīng)器的壓力下聚合形成聚合的PVC。同時(shí),所產(chǎn)生的氣體被提取,壓縮和液化。  真空吸塑的特殊旋片真空泵開始大量發(fā)展并被廣泛使用。真空塑料工藝一直在發(fā)展,已成為加工包裝材料的重要方法之一?! ≡诠I(yè)上,旋片真空泵塑料成型工藝無疑是塑料包裝容器最常用的成型方法之一。它是由熱塑性板材制成的。對于某些發(fā)達(dá)國家,真空成型是一種古老的...
2019 - 11 - 01
羅茨真空泵定期檢查是什么  羅茨真空泵是一種容積式旋轉(zhuǎn)鼓風(fēng)機(jī),它通過轉(zhuǎn)子軸末端的同步齒輪使兩個(gè)轉(zhuǎn)子保持嚙合。 羅茨真空泵注意正常負(fù)載操作時(shí),請注意以下事項(xiàng):  1.所謂的額定負(fù)載是指根據(jù)銘牌上的校準(zhǔn)壓力值,進(jìn)氣口和排氣口之間的靜壓差。當(dāng)排氣口壓力正常時(shí),注意進(jìn)氣口的壓力變化,以免過載。  2.要求緩慢且逐漸地進(jìn)行調(diào)整,并將負(fù)載升至額定負(fù)載。不允許一次調(diào)整到額定負(fù)載?! ?,羅茨真空泵在正常工作中,嚴(yán)禁完全關(guān)閉進(jìn)氣門和排氣門。注意定期觀察壓力。如果安全閥在過載期間已耗盡,則應(yīng)及時(shí)調(diào)整安全閥,并且不允許過載操作。  4,時(shí)刻注意潤滑劑的油量,定期檢查,并作記錄以確保油量?! ?.由于羅茨真空泵的特性,不允許長時(shí)間將排氣口的氣體直接返回到羅茨真空泵的進(jìn)氣口(改變進(jìn)氣口的溫度),否則會影響安全性機(jī)器的。必須使用冷卻措施進(jìn)行回流調(diào)節(jié)?! ?,羅茨真空泵日常檢查:  1)油位檢查:       油量過多會導(dǎo)致溫度升高并且油量過少,從而導(dǎo)致潤滑不良。  2)溫度檢查:       用溫度計(jì)檢查泵各部分的溫度。  3)檢查電動機(jī)負(fù)載:       用功率計(jì)或電流,電壓表測量電動機(jī)負(fù)載?! ?. 羅茨真空泵每月檢查:       聯(lián)軸器和墊圈...
2019 - 11 - 06
隨著在屏幕閱讀的幻想未來,顯示面板行業(yè)的高速發(fā)展。面板的制造過程非常復(fù)雜。從玻璃基板到成品至少需要300道工序。整個(gè)過程需要在無塵的環(huán)境和精確的技術(shù)過程中進(jìn)行。因此,在面板生產(chǎn)過程中,高度可靠的真空供應(yīng)尤為重要。平板顯示器廠家現(xiàn)在使用干螺桿真空泵技術(shù)為其高負(fù)荷L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶劑蒸發(fā)工藝提供真空。本文旨在介紹下螺桿真空泵在平板顯示器中的應(yīng)用。  平板顯示器(FPD)的制造過程需要真空和減排設(shè)備,這些設(shè)備可以支撐大型處理室并以最大的可靠性提供高氣體流量。需要真空設(shè)備來泵送有毒,自燃性和腐蝕性氣體,并處理在處理室中形成的大量固體處理副產(chǎn)物?! 槭裁催x擇平板顯示器的螺桿真空泵?  選擇干式螺桿真空泵的原因?qū)嶋H上與其產(chǎn)品特性有關(guān)。它具有以下三個(gè)優(yōu)點(diǎn):  1、高可靠性  干式螺桿真空泵由于其成熟的雙螺桿設(shè)計(jì)和智能的溫度管理而特別高效。這些真空泵即使在最嚴(yán)苛的應(yīng)用中也能提供高可靠性和長使用壽命?! ?、配備節(jié)能模式功能,可以節(jié)省大量能源  干式螺桿真空泵配備有節(jié)能電機(jī)和世界先進(jìn)的節(jié)能模式功能??刂葡到y(tǒng)可根據(jù)需求自動調(diào)整為節(jié)能模式,并在需要時(shí)恢復(fù)至最大抽氣模式,從而節(jié)省了大量能源?! ?、最小化維護(hù)和運(yùn)營成本  它的一小部分部件(包括轉(zhuǎn)子)都是一件式的。得益于其模塊化設(shè)計(jì)以及獨(dú)立的羅茨泵和螺桿泵機(jī)架,它易于安裝和維護(hù),大大降低了大修成本。由于優(yōu)化的空間設(shè)計(jì)和節(jié)能潛力,真空泵的運(yùn)行...
2019 - 11 - 07
隨著材料要求的提高,真空冶金逐漸發(fā)展。真空冶金已開始用于有色金屬的還原,有色金屬及其合金的精煉和鑄造以及某些冶金中間產(chǎn)品的分離,成為現(xiàn)代冶金的重要領(lǐng)域。涉及冶金的各個(gè)方面。 羅茨真空泵技術(shù)也越來越多地用于冶金工業(yè),其好處越來越重要。本文旨在介紹羅茨真空泵在真空冶金中的應(yīng)用知識。  真空冶金是在標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下進(jìn)行的冶金操作。它可以實(shí)現(xiàn)在大氣中無法進(jìn)行的冶金過程,防止金屬氧化,分離具有不同沸點(diǎn)的物質(zhì),去除金屬中的氣體或雜質(zhì),增強(qiáng)金屬中碳的脫氧能力并提高金屬和合金的質(zhì)量。真空冶金通常用于金屬的冶煉,精煉,鑄造和熱處理。隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,真空冶金越來越多地用于稀有金屬,鋼和特殊合金的冶煉?! ×_茨真空泵工作原理:  羅茨真空泵是許多前級泵,它們操作真空泵,并且在所有工業(yè)真空應(yīng)用中一起需要泵送?! ×_茨真空泵完全運(yùn)行的無泄漏,未密封的油或其他工作流體壓縮腔。 羅茨真空泵配有旁通閥,需要免費(fèi)維修。  羅茨真空泵具有廣泛的吸力和極限壓力,可以定制成為綜合真空系統(tǒng)的前級泵,這使我們能夠?yàn)榇蠖鄶?shù)工業(yè)應(yīng)用以及高真空度定制解決方案。高效?! τ谑枭⒁兹家妆h(huán)境中發(fā)生的爆炸性氣體或過程,增壓器技術(shù)基于成熟的對流冷卻概念。 羅泵使羅茨真空泵安全地運(yùn)行。得益于先進(jìn)的工業(yè)設(shè)計(jì)和嚴(yán)格的測試,羅茨真空泵能夠滿足苛刻的爆炸性應(yīng)用?! ×_茨真空泵用途和特點(diǎn)  1、低噪音(高精度動態(tài)平衡)  2、用于過載保護(hù)(溢...
2019 - 11 - 11
高溫泵/磁力泵的推出,由于泵軸、內(nèi)磁轉(zhuǎn)子被泵體、隔離套完全封閉,從而徹底解決了“跑、冒、滴、漏”問題,消除了煉油化工行業(yè)易燃、易爆、有毒、有害介質(zhì)通過泵密封泄漏的安全隱患,有利地保證了職工的身心健康和安全生產(chǎn)?! ∽鳛楦邷乇?磁力泵的使用者,除了要學(xué)會正確使用磁力泵之外,還應(yīng)掌握必要的磁力泵維修技巧,接下來小編為大家列舉幾個(gè)高溫泵/磁力泵常見的故障。  1、揚(yáng)程不足:造成磁力泵揚(yáng)程不足的主要原因有輸送介質(zhì)內(nèi)有空氣,葉輪損壞,轉(zhuǎn)速不夠,輸送液體的比重過大,流量過大等等?! ?、流量不足:造成磁力泵流量不足的主要原因有葉輪損壞,轉(zhuǎn)速不夠,揚(yáng)程過高,管內(nèi)有雜物堵塞等等?! ?、軸承損壞:磁力泵的軸承材料采用高密度碳,如遇泵斷水或泵內(nèi)有雜質(zhì),就會造成軸承的損壞,除此之外,磁力泵圓筒形聯(lián)軸器內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子間的同軸度要求若得不到保證,也會直接影響磁力泵軸承的壽命?! ?、軸折斷:磁力泵泵軸采用材料是99%的氧化鋁瓷,導(dǎo)致磁力泵軸折斷的原因有:泵空運(yùn)轉(zhuǎn),軸承干磨而將軸扭斷。拆開泵檢查時(shí)可看到軸承已磨損嚴(yán)重預(yù)防泵折斷的主要辦法是避免泵的空運(yùn)轉(zhuǎn)?! ?、打不出液體:當(dāng)遇到磁力泵打不出液體的情況,首先,應(yīng)檢查泵的吸入管路是否有漏氣的地方,檢查吸入管內(nèi)空氣是否排出,磁力泵內(nèi)灌注的液體量是否足夠,吸人管內(nèi)是否有雜物堵塞,還應(yīng)查一查泵是否反轉(zhuǎn)(尤其是在換過電機(jī)后或供電線路檢修過后),還應(yīng)注意泵的吸上高度是否太高...
2019 - 11 - 12
羅茨真空泵是一種非常無油的真空泵裝置。 羅茨真空泵可以形成大型的無油真空泵系統(tǒng),以滿足近年來各行業(yè)對無油真空泵系統(tǒng)不斷增長的需求,因此羅茨真空泵在正常運(yùn)行期間需要更高質(zhì)量的潤滑油。但是,由于設(shè)備的工作環(huán)境,潤滑油更容易產(chǎn)生雜質(zhì)。此時(shí),在潤滑油的檢查中使用羅茨真空泵非常重要。一旦使用了帶有雜質(zhì)的潤滑油。在隨后的使用中會影響導(dǎo)向裝置的正常運(yùn)行。那么,在使用羅茨真空泵時(shí)如何測試機(jī)油的使用呢?  使用羅茨真空泵時(shí)如何檢查機(jī)油的使用情況?我為您整理了以下三點(diǎn):  一、首先,很容易使用手指在拇指和食指之間搖擺羅茨真空泵潤滑劑。更好的潤滑劑具有潤滑感,減少了磨損碎屑。無摩擦,如果您在手指之間感覺到大的摩擦感(例如沙子),則意味著潤滑油中有很多雜質(zhì),不能再次使用,應(yīng)更換潤滑油。  二、可以觀察到所用潤滑油的流動。拿兩個(gè)量杯,其中只有一個(gè)裝有要檢查的羅茨真空泵潤滑油,另一個(gè)放在桌面上,提起裝滿潤滑油的量杯。高度離開工作臺30-40厘米并傾斜,讓潤滑劑緩慢流入空杯中,觀察流量,如果有快速流動的潤滑油,則潤滑油的質(zhì)量應(yīng)細(xì)長,均勻,連續(xù),有時(shí)流量大,表明潤滑劑已變質(zhì)。  三、當(dāng)晴天天氣晴朗時(shí),請使用工具以與水平面成45度角的方式撬動潤滑劑。避免陽光直射,觀察油滴。在光線下,可以清楚地看到潤滑油中沒有磨損殘?jiān)?,該殘?jiān)梢岳^續(xù)工作。如果磨屑太多,則可以更換。您也可以取一張干凈的白色濾紙,然后在濾紙上滴幾滴油。...
2019 - 11 - 14
以前我們的文章中,討論了水環(huán)真空泵的一些故障和解決辦法。葉片損壞的問題的粗略描述,但沒有解釋詳細(xì)解釋,水環(huán)真空泵葉片損壞的原因很多,我們將詳細(xì)探討找出其損壞的原因?! ?、有裂紋。這種情況通常在葉片根部更為常見。這是疲勞裂紋之一,并且由于葉片和車輪尺寸之間的距離而導(dǎo)致鑄造裂紋。葉輪破裂時(shí),請勿繼續(xù)使用,以免在使用葉片時(shí)造成更嚴(yán)重的損壞?! ?、斷裂損壞。通常是因?yàn)樵O(shè)備內(nèi)部有金屬塊,礫石等。當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),這些巖石很可能撞擊葉片,而此時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度相對較快,則葉片很可能會破裂。葉片根部的應(yīng)力也可能會集中,以至于在長時(shí)間運(yùn)行后它將破裂,損壞的葉片應(yīng)立即更換,否則水環(huán)真空泵將無法工作?! ?、磨損導(dǎo)致。通常,輸送的介質(zhì)包含一些腐蝕性氣體和液體,它們可能會被腐蝕。當(dāng)然,這可能是因?yàn)橐涵h(huán)中存在一些固體雜質(zhì),這些雜質(zhì)會引起與葉輪表面的摩擦并造成損壞??赡苁怯捎诳栈@是不可避免的。在上一篇文章中對此進(jìn)行了詳細(xì)說明。如果腐蝕嚴(yán)重,它將無法正常工作。如果損壞不嚴(yán)重,則可以使用補(bǔ)充劑。焊接方法的修理和維修費(fèi)用相對較低,因此在正常維護(hù)期間也需要定期檢查葉輪?! ∫陨鲜俏覀兛偨Y(jié)的水環(huán)真空泵葉片損壞的原因。經(jīng)過以上介紹,我們可以了解到損壞通常是由于設(shè)備中的礫石過度使用,腐蝕或損壞造成的。實(shí)際上,當(dāng)我們使用它時(shí),有可能盡可能避免這些問題。當(dāng)然水環(huán)真空泵因?yàn)檫@些原因損壞了,也不要著急可以去找廠家買配件來維修水環(huán)真...
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2020 - 07 - 09
真空泵的使用通常與水有關(guān),但它仍然需要水來支持它的工作。很多時(shí)候我們是以加水的方式來做的。關(guān)于給真空泵加水的說法是什么?  真空泵運(yùn)行時(shí),需要用液體作為工作液體,基本上是選擇水作為工作液體。當(dāng)葉輪順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪甩來甩去。由于離心力,水形成由泵腔形狀決定的大致相等的厚度封閉圓環(huán)。水環(huán)下部的內(nèi)表面正好與葉輪輪轂相切。水環(huán)的上內(nèi)表面正好與刀片的尖端相接觸(事實(shí)上,刀片具有一定的插入深度)。此時(shí),在葉輪輪轂和水環(huán),之間形成一個(gè)新月形空間,該空間被葉輪分成幾個(gè)具有相同葉片數(shù)的小腔。如果以葉輪下部為0為起點(diǎn),當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)180前,小腔的體積由小到大,并與端面上的吸入口連通,則氣體被吸入,當(dāng)吸入結(jié)束時(shí),小腔與吸入口隔離;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口連通時(shí),氣體從泵中排出?! ‘?dāng)水量減少時(shí),其工作效率將降低,這將增加能耗和運(yùn)行成本。工作流體的作用不僅是抽取氣體,而且是降低泵體的溫度。工作流體比正常水平低得多,這將增加泵體的熱值,降低泵的耐用性并增加維護(hù)成本。因此,水環(huán)真空泵運(yùn)行時(shí)必須保持工作流體的正常液位,這有利于泵的正常運(yùn)行、維護(hù)和降低成本?! 」ぷ髁黧w可視為其工作動力。如果停電了,真空泵能做些什么來努力戰(zhàn)斗呢?因此,我們平時(shí)不應(yīng)該吝嗇,時(shí)不時(shí)地給他們一些水,這樣他們就能以好工作的形式回報(bào)我們?! 『悴艡C(jī)電真空泵廠家主要產(chǎn)品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN...
2018 - 04 - 11
真空泵泵油是真空泵配件,在選擇真空泵油的時(shí)候要注意哪些事項(xiàng),有哪些要求呢,我們劉工做了如下幾點(diǎn)總結(jié)。   1、泵油的密封性真空泵泵油需求具有適合的粘度,在低溫下能使真空泵疾速啟動,在高溫下泵油能具有良好的密封性,在泵內(nèi)泵油具有較低的溫升。不含有輕質(zhì)的易揮發(fā)組分,降低運(yùn)用過程中真空泵的返油率。   2、泵油的飽和蒸汽壓飽和蒸汽壓是泵油較關(guān)鍵的指標(biāo)之一。在恒溫的密閉容器中,當(dāng)汽液兩相到達(dá)動態(tài)均衡時(shí)的壓力稱謂飽和蒸汽壓。泵油品的飽和蒸汽壓要盡量低,在泵的最高工作溫度下,仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓,并要低于真空泵規(guī)則的極限壓強(qiáng)。在60℃溫度條件下至少要到達(dá)6.5×10-5 kPa(因溫升每上升20℃,飽和蒸汽壓大約要下跌一個(gè)數(shù)量級)。 3、極限全壓力和極限分壓力極限全壓力:由皮拉尼計(jì)或熱偶真空計(jì)測出真空泵一切物質(zhì)(氣體)產(chǎn)生壓強(qiáng)的總和。國外目前注重全壓強(qiáng)的測試指標(biāo)。 極限分壓力:用水銀緊縮式真空計(jì)(麥?zhǔn)嫌?jì))測得的泵的極限空氣分壓力,雙級旋片泵分壓力應(yīng)為≤6×10-5kPa.極限全壓力與極限分壓力差值請求不大于一個(gè)數(shù)量級。二者之間的差值越大,泵油中含有的揮發(fā)成分就越多,油品的性質(zhì)就越差。   4、真空泵泵油的光滑性表現(xiàn)佳的泵油有利于抑止腐蝕磨損;能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損;摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等,都與...
2018 - 06 - 21
由于羅茨真空泵是一種技術(shù)含量比較高設(shè)計(jì)比較精巧的設(shè)備,因此它具有非常多的優(yōu)點(diǎn),但是想要讓這些優(yōu)點(diǎn)真正的發(fā)揮出來就需要學(xué)會正確的使用它。因此相關(guān)的工作人員在正式投入操作羅茨真空泵之前應(yīng)該要接受一定的培訓(xùn)懂得操作的技巧和方法,這樣才能夠使得設(shè)備更好的運(yùn)轉(zhuǎn),具體來說,羅茨真空泵得正確的使用方法包括以下幾個(gè)方面。一、經(jīng)常調(diào)整羅茨真空泵葉輪轉(zhuǎn)子間隙在操作羅茨真空泵到時(shí)候,必須在相應(yīng)的位置留一條連續(xù)的接觸線,通過這種方式來阻止氣體流回到真空當(dāng)中,并且在運(yùn)行時(shí)還應(yīng)該要經(jīng)常性的檢查兩轉(zhuǎn)子的嚙合情況。并且使用了一段時(shí)間之后,里面比較關(guān)鍵的元器件可能會因此而磨損,所以羅茨真空泵廠家提醒需要及時(shí)的進(jìn)行檢查和修理。如果葉輪轉(zhuǎn)子間隙比較小的情況下,如果任其發(fā)展的話那么很可能會使電機(jī)過度發(fā)熱而導(dǎo)致?lián)p傷,因此需要進(jìn)行一定的調(diào)整,特別是平時(shí)要經(jīng)常的對相應(yīng)的位置進(jìn)行清理。二、經(jīng)常檢查羅茨真空泵泵軸的密封狀態(tài)由于羅茨真空泵隨時(shí)要保證里面是處在真空的狀態(tài),所以密封效果一定要做到位,因此隨時(shí)要檢查密封配件的效果,避免漏氣的情況發(fā)生。專業(yè)提供羅茨真空泵廠家介紹一般來說,要選用質(zhì)量好一些的蜜蜂園事件,比如機(jī)械密封等等,最近新研發(fā)出來的瓷粉密封效果也不錯,值得一試。三、合理選用羅茨真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)羅茨真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)應(yīng)該要根據(jù)實(shí)際的情況進(jìn)行調(diào)整,理論上來說,增加圈數(shù)就會使排泄量也增加,并且是容積率上升但同時(shí)可能會因此而增加噪音。所以高...
2018 - 08 - 29
一、真空泵使用中要注意人身安全    在現(xiàn)場安裝真空泵是,除了操作真空泵時(shí)要注意安全,還應(yīng)當(dāng)采取一些普遍的預(yù)防措施來確保自己在工作環(huán)境的健康和人身安全問題。無論機(jī)器在不在運(yùn)行,都務(wù)必穿戴合適的服裝。對電動泵進(jìn)行維修時(shí),也要確保穿戴上絕緣手套和保護(hù)頭盔。如果你工作或者百分的泵站和污水處理有關(guān),確保用防水膠布包扎你的傷口,再小也要包扎,否則由直接同污水接觸引起、通過傷口或者眼睛、口腔膜感染,可能感染嚴(yán)重病毒,如果在現(xiàn)場受傷,應(yīng)當(dāng)立即用防水、殺菌、棉質(zhì)的繃帶包扎,下面請看幾點(diǎn)重點(diǎn)注意事項(xiàng):1. 實(shí)驗(yàn)操作人員進(jìn)行操作過程中,切勿攜帶電子產(chǎn)品。2. 實(shí)驗(yàn)操作人員需佩戴真空設(shè)備專用操作手套進(jìn)行操作,不能直接觸碰真空設(shè)備。3. 真空泵設(shè)備配件應(yīng)在干燥箱內(nèi)保存,并遠(yuǎn)離具有腐蝕性的化學(xué)氣體或液體。4. 真空泵設(shè)備需定期進(jìn)行擦拭,應(yīng)選用無塵紙或無塵布配套酒精或丙酮進(jìn)行清潔。5. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持一定干燥度,實(shí)驗(yàn)操作人員應(yīng)每日檢查實(shí)驗(yàn)室的濕度及溫度情況。6. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持良好通風(fēng),以避免機(jī)械真空泵油氣所造成的影響。7. 操作人員應(yīng)關(guān)注真空設(shè)備所使用泵的溫度,以免過熱導(dǎo)致儀器壽命縮短。8. 操作人員應(yīng)在分子泵轉(zhuǎn)速降至安全線以下后,放入氮?dú)饣蛞旱?. 操作人員應(yīng)密切關(guān)注高壓泵電源接口損耗程度,以防止操作人員觸電,確保安全。10. 實(shí)驗(yàn)人員進(jìn)行操作時(shí),應(yīng)嚴(yán)格按照各真空設(shè)備操作步驟進(jìn)行閥門開關(guān)...
2018 - 11 - 03
半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕, 真空吸附,測試設(shè)備,真空清掃等等鍵合工序,半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體,會對生產(chǎn)及人員安全造成威脅,因此,半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng):  1、定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:  半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過濾設(shè)備?! ?、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度:  半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時(shí)候,會引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí),需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍.  3、真空泵注意氧氣的濃度...
2019 - 03 - 08
真空系統(tǒng)用何種真空泵,首先應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)的要求,其次應(yīng)對該泵性能特點(diǎn)有詳細(xì)了解,比較了各種泵的優(yōu)缺點(diǎn)后,再決定之, 這樣才能選用得適當(dāng)。為便于選擇所要使用的真空泵,現(xiàn)將我國生產(chǎn)的各種類型真空泵總的情況歸納總結(jié)一下,簡略比較它們的特性和優(yōu)缺點(diǎn),看來是必要的。 一、油封機(jī)械泵 現(xiàn)生產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級,抽速為0.5~150升/秒,有全系列的產(chǎn)品。 滑閥泵分單級(H型)、雙級(2H型)。 抽速:H型為8 ~ 600升/秒;2H型為8~ 70升/秒。亦有成系列生產(chǎn)的產(chǎn)品。 余擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產(chǎn)。 這類泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)裝置的可抽除潮濕空i。但極限真空比抽干燥空氣(不用鎮(zhèn)時(shí))低-個(gè)數(shù)量級。泵的抽速系指進(jìn)口壓強(qiáng)在760托時(shí)之抽速,當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)下降時(shí)抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近于零。其抽降系數(shù)有一定規(guī)定。 二、機(jī)械增壓泵(羅茨泵) 工作壓強(qiáng)范圍10~5x10-4托,常用范圍2~5x10-3托,抽速范圍150~ 2000升/秒,我國已有成系列產(chǎn)品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強(qiáng)范圍較寬,最大排氣壓強(qiáng)較高(機(jī)械增壓泵10~30托,油增壓泵1 ~ 2托)&...
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真空泵如何改造成中央真空泵系統(tǒng)

日期: 2025-07-31
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將分散的真空泵改造成中央真空泵系統(tǒng),可通過設(shè)備選型與整合、系統(tǒng)設(shè)計(jì)優(yōu)化、自動化控制升級、節(jié)能與環(huán)保措施、系統(tǒng)測試與維護(hù)等步驟實(shí)現(xiàn),能顯著提升真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性、節(jié)能性及生產(chǎn)效率。以下是具體改造步驟及要點(diǎn)分析:

一、設(shè)備選型與整合

  1. 核心設(shè)備選擇:根據(jù)生產(chǎn)需求選擇合適的真空泵類型。例如,羅茨水環(huán)真空機(jī)組適用于需要集中抽真空且對真空度穩(wěn)定性要求較高的場景,如壓機(jī)分散小泵的改造;變頻油螺桿真空泵則因其節(jié)能空間大、維護(hù)成本低,常用于平板硫化機(jī)等設(shè)備的中央真空改造。

  2. 設(shè)備整合:將原有的多臺分散真空泵整合為中央真空系統(tǒng),減少設(shè)備數(shù)量,降低占地面積。例如,將13臺2.2KW的VC-100旋片式真空泵替換為1臺15KW的阿特拉斯螺桿真空泵GHS 900 VSD+,實(shí)現(xiàn)節(jié)能率80%的同時(shí),減少維護(hù)成本和人工成本。真空泵如何改造成中央真空泵系統(tǒng)

二、系統(tǒng)設(shè)計(jì)優(yōu)化

  1. 真空管道布局:合理設(shè)計(jì)真空管道布局,確保氣體流動順暢,減少壓力損失。管道直徑、長度和彎頭數(shù)量等參數(shù)需根據(jù)實(shí)際工況進(jìn)行優(yōu)化。

  2. 真空罐與儲氣罐配置:配置適當(dāng)容量的真空罐和儲氣罐,以穩(wěn)定系統(tǒng)真空度,減少真空泵啟停頻率。真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定上限值時(shí),真空泵自動停止運(yùn)行;當(dāng)真空度下降至下限值時(shí),備用真空泵組自動啟動。

  3. 排水系統(tǒng)改造:對于水環(huán)真空泵,需優(yōu)化排水系統(tǒng)以減少水資源浪費(fèi)。例如,在入口加裝限流孔板,控制軸密封液用量;在后路管線上增設(shè)“U”型管,增加介質(zhì)流動阻力并起到水封作用,減少丙烯氣等有害物質(zhì)的排放。

三、自動化控制升級

  1. PLC控制系統(tǒng)集成:采用PLC程序控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)的全自動化控制。通過觸摸屏人機(jī)界面,可設(shè)定真空度上下限值、監(jiān)控系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)、實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制及報(bào)警保護(hù)等功能。

  2. 智能控制策略:引入變頻驅(qū)動(VSD)技術(shù),根據(jù)實(shí)際負(fù)荷需求自動調(diào)節(jié)真空泵運(yùn)行速度,實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗。例如,Edwards真空泵EOSi系列通過閉環(huán)壓力控制和主動式能耗管理,提高系統(tǒng)效率。真空泵如何改造成中央真空泵系統(tǒng)

四、節(jié)能與環(huán)保措施

  1. 節(jié)能技術(shù)應(yīng)用:采用高效油氣分離器設(shè)計(jì)延長保養(yǎng)時(shí)間間隔;利用溫度管理控制實(shí)現(xiàn)水蒸汽處理能力優(yōu)化;通過磁懸浮軸承系統(tǒng)消除軸承轉(zhuǎn)動中的摩擦損耗(如磁懸浮透平真空泵在造紙行業(yè)的應(yīng)用)。

  2. 環(huán)保材料使用:在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中優(yōu)先選用無油配置,避免油氣揮發(fā)對生產(chǎn)環(huán)境造成污染。例如,中央真空系統(tǒng)在電子灌封環(huán)節(jié)的應(yīng)用,可滿足無塵生產(chǎn)車間的潔凈度要求。

五、系統(tǒng)測試與維護(hù)

  1. 性能測試:改造完成后需進(jìn)行系統(tǒng)性能測試,包括真空度穩(wěn)定性、抽氣速率、能耗等指標(biāo)驗(yàn)證,確保系統(tǒng)滿足設(shè)計(jì)要求。

  2. 維護(hù)計(jì)劃制定:建立定期維護(hù)計(jì)劃,包括真空泵油液更換、過濾器清洗、管道檢查等,確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運(yùn)行。


推薦產(chǎn)品 / Products
深圳恒才新型真空引水機(jī)組是一款集高效引水、智能控制與強(qiáng)大過濾功能于一體的先進(jìn)設(shè)備,以下從核心配置、性能優(yōu)勢、應(yīng)用場景及維護(hù)管理四個(gè)方面進(jìn)行詳細(xì)介紹:一、核心配置:德國工藝與智能控制的融合德國SPECK水環(huán)真空泵高效穩(wěn)定:采用德國SPECK品牌水環(huán)真空泵作為主泵,利用水作為工作介質(zhì),通過葉輪旋轉(zhuǎn)形成水環(huán),實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排放。其結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)行平穩(wěn),適用于抽吸含水蒸氣、腐蝕性氣體或微小顆粒的混合氣體,滿足泥水、粉塵等復(fù)雜工況需求。耐腐蝕性強(qiáng):泵體材質(zhì)可選不銹鋼或特殊合金,適應(yīng)不同水質(zhì)和化學(xué)環(huán)境,延長設(shè)備使用壽命。低噪音設(shè)計(jì):通過優(yōu)化水環(huán)形成與氣體流動路徑,降低運(yùn)行噪音,改善操作環(huán)境。西門子觸摸屏控制系統(tǒng)智能化操作:配備西門子觸摸屏,實(shí)現(xiàn)設(shè)備啟停、參數(shù)設(shè)置、狀態(tài)監(jiān)控、故障報(bào)警等功能的集成化操作。用戶可通過界面直觀查看真空度、流量、溫度等關(guān)鍵參數(shù),并一鍵調(diào)整運(yùn)行模式(如手動/自動切換)。遠(yuǎn)程管理:支持與上位機(jī)或云端平臺連接,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)分析,提升運(yùn)維效率。安全保護(hù):內(nèi)置過載、過熱、缺相等多重保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。二、性能優(yōu)勢:快速引水與高效過濾的雙重保障1-3分鐘快速引水高效抽氣能力:水環(huán)真空泵在短時(shí)間內(nèi)建立高真空度(通??蛇_(dá)-0.098MPa以上),迅速排除系統(tǒng)內(nèi)空氣,形成負(fù)壓環(huán)境,實(shí)現(xiàn)快速引水。大流量設(shè)計(jì):泵體流道優(yōu)化,減少阻力損失,確保在引水過程中維持高流量,縮短引水時(shí)間。攪拌型過濾器配置直接過濾泥水混合物:過濾器內(nèi)置攪拌裝置,通過旋轉(zhuǎn)葉片打散沉淀物,防止泥沙、粉塵等固體顆粒沉積堵塞,同時(shí)利用水環(huán)的剪切力將顆粒分散在水中,實(shí)現(xiàn)高效過濾。微粒狀固體過濾:濾網(wǎng)精度可根據(jù)需求定制(如50-200目),有效攔截沙石、微粒等雜質(zhì),避免其進(jìn)入泵體或管道,保護(hù)設(shè)備免受磨損。排水便捷:過濾器設(shè)計(jì)有反沖洗功能或快速拆卸結(jié)構(gòu),可定期清理濾網(wǎng)或排出沉積物,維護(hù)簡單,降低停機(jī)時(shí)間。...
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 07 - 23
高效抽氣能力:旋片真空泵通過轉(zhuǎn)子與旋片的協(xié)同運(yùn)動,周期性改變泵腔容積,實(shí)現(xiàn)氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒,單級泵極限壓力可達(dá)1帕,雙級泵更可低至6.5×10?²帕,能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴(yán)苛要求。結(jié)構(gòu)緊湊設(shè)計(jì):機(jī)組小車采用一體化撬裝結(jié)構(gòu),將泵體、電控系統(tǒng)、過濾器等部件集成于緊湊空間內(nèi),占地面積小,便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線靈活布局。其輕量化設(shè)計(jì)(如電機(jī)直聯(lián)驅(qū)動)進(jìn)一步減輕了設(shè)備重量,提升了便攜性。移動靈活便捷:小車底部配備移動輪,支持快速搬遷與多工位切換,尤其適用于需要頻繁調(diào)整設(shè)備位置的晶圓加工場景。部分機(jī)型還支持手自動模式切換,確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運(yùn)行。運(yùn)行穩(wěn)定可靠:旋片真空泵通過油膜密封與強(qiáng)制進(jìn)油潤滑設(shè)計(jì),確保運(yùn)動部件間的完美氣密性與恒定潤滑,同時(shí)減少有害空間對極限壓力的影響。其內(nèi)置的自動防返油雙重保險(xiǎn)裝置與金屬絲網(wǎng)粗過濾器,可有效防止油返入被抽系統(tǒng)與固體塵粒吸入泵腔,保障設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。維護(hù)簡便經(jīng)濟(jì):機(jī)組小車結(jié)構(gòu)簡單,維護(hù)成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油(首次工作滿150小時(shí)后換油,之后每500小時(shí)換油)與油過濾器、清潔進(jìn)氣口濾網(wǎng)等常規(guī)操作,確保設(shè)備性能。其低成本、高性能的特點(diǎn)使其成為空間有限或預(yù)算敏感場景的理想選擇。安全防護(hù)完善:設(shè)備配備雙重密閉系統(tǒng)(充氣式電磁閥+機(jī)械止回閥)與排氣過渡器,可防止氣體倒流與油霧排放,避免晶圓污染或設(shè)備損壞。同時(shí),其內(nèi)置的吸氣閥可在停泵時(shí)自動隔離泵與被抽系統(tǒng),防止油返入被抽系統(tǒng),保障操作安全。適應(yīng)性強(qiáng):旋片真空泵機(jī)組小車可單獨(dú)使用,也可與其他高真空泵(如分子泵)組成真空機(jī)組,以應(yīng)對不同工藝對真空度的差異化需求。例如,在晶圓鍵合工藝中,可先通過旋片泵快速抽至低真空,再切換至分子泵實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境,提升工藝效率。經(jīng)濟(jì)性高:機(jī)組小車采用無油設(shè)計(jì)(...
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 07 - 22
德國spedk品牌水環(huán)式真空泵機(jī)組專用于塑膠造粒行業(yè),直接過濾粉塵雜質(zhì),減免人工清理,真空度負(fù)98kpa,低噪音,水閉環(huán)循環(huán)利用,塑膠行業(yè)都在用的高科技水環(huán)真空泵機(jī)組
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 05 - 27
PCB線路板行業(yè)熱壓機(jī)配套中央真空泵系統(tǒng),集中式抽真空,水循環(huán)利用,節(jié)能省電60%,產(chǎn)線無油煙污染,水介質(zhì)循環(huán)利用更加環(huán)保
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 04 - 11
塑膠造粒產(chǎn)線配套干式無油真空泵系統(tǒng),帶動多條生產(chǎn)線進(jìn)行集中抽真空,干式真空泵系統(tǒng),其無油無水解決水油污染等問題,受到了工業(yè)產(chǎn)線的青睞,還可以直接過濾粉塵雜質(zhì),無需人工清理,解決管道堵塞問題,環(huán)保節(jié)能,是塑膠造粒行業(yè)的超能助手。
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 02 - 28
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